Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. - Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)

Скачать

Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. - Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)

Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)

Год: 1995

Автор: Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.

Жанр: Электроника

Издательство: МИСИС

ISBN: 5-87623-004-9

Язык: Русский

Формат: DjVu

Качество: Отсканированные страницы + слой распознанного текста

Количество страниц: 493

Описание: Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.

Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники».

Скачать